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分析真空度測試儀的檢測原理

分析真空度測試儀的檢測原理

 

真空度測試儀采用磁控放電法進(jìn)行測量。將真空開關(guān)滅弧室的兩觸頭拉開一定的距離,施加電場脈沖高壓,將滅弧室置于螺線管圈內(nèi)或?qū)⑿滦碗姶啪€圈置于滅弧室外側(cè),向線圈通以大電流,從而在滅弧室內(nèi)產(chǎn)生與高壓同步的脈沖磁場。這樣,在脈沖強(qiáng)磁場和強(qiáng)電場的作用下,滅弧室中的帶電離子作螺旋運(yùn)動,并與殘余氣體分子發(fā)生碰撞電離,所產(chǎn)生的離子電流與殘余氣體密度即真空度近似成比例關(guān)系。

 

對于不同的真空管型號(管型),由于其結(jié)構(gòu)不同,在同等觸頭開距、同等真空度、同等電場與磁場的條件下,離子電流的大小也不相同。通過實(shí)驗(yàn)可以標(biāo)定出各種管型的真空度與離子電流間的對應(yīng)關(guān)系曲線。當(dāng)測知離子電流后,就可以通過查詢該管型的離子電流一真空度曲線獲得該管型的真空度。

 

在常規(guī)磁控放電測試滅弧室的真空度時,為了提高其測試靈敏度,需從斷路器上卸下滅弧室,并置于螺線管線管內(nèi)。這樣一來,滅弧室在重新裝回?cái)嗦菲鲿r需要調(diào)整機(jī)械參數(shù),工作量很大并需專業(yè)人員。而使用新型磁控線圈可以從側(cè)面包圍滅弧室,這樣就不必拆卸滅弧室。而采用單片微機(jī)進(jìn)行同步控制與數(shù)據(jù)采集處理,提高了滅弧室真空度的現(xiàn)場測試靈敏度。

 

真空度測試儀儀將滅弧室的兩觸頭拉開一定的開距,施加脈沖高壓,將電磁線圈環(huán)繞于滅弧室的外側(cè),向線圈通以大電流,從而在滅弧室內(nèi)產(chǎn)生與高壓同步的脈沖磁場,這樣在脈沖磁場的作用下,滅弧室中的電子做螺旋運(yùn)動,并與殘余氣體分子發(fā)生碰撞電離,所產(chǎn)生的離子電流與殘余氣體密度即真空度近似成比例關(guān)系。對于不同的真空管,在同等真空度條件下,離子電流的大小也不相同,當(dāng)測知離子電流后,通過離子電流一真空度曲線,由計(jì)算機(jī)自動完成真空度的計(jì)算,并顯示真空度值。

 


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